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SR6
6kW-18kW高压发生器
SPELLMAN SR6系列按输出电压自1kV～120kV有15个型号可选，与SA4系列发生器（输出电压范围1kV-70kV）类似，均采用带专利控制电路的串联谐振转换器技术，这使得该发生器能够在对传统发生器构成频繁威胁的苛刻环境中无损害或干扰地运行。另外,当感应到电弧放电时,SA4和SR6系列可通过限制瞬间输出电流来保护负载不被额外的峰值电流损坏。可通过并联SR6系列来增加功率和电流水平实现12kW,18kW及以上的输出功率。 |
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典型特点 |
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| 结构紧凑，轻巧 |
每瓦所耗成本低 |
低电磁/射频干扰 |
连续电压/电流自动交叉操作 |
| 打弧检测/消弧/打火计数 |
可按顾客要求订做 |
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典型应用 |
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| SPUTTERING |
分析X-射线 |
电子束系统 |
雷达调制器 |
| 等幅激光 |
ION
IMPLANTATION |
电容充电 |
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选件 |
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| 200-1P |
200V交流单相输入 |
FG |
浮地 |
RMI |
远程模式指示 |
SS(X) |
非标慢启动 |
| 200-3P |
200V交流3相输入 |
CPC |
持续功率控制 |
ROA |
远程过压调节 |
SL |
安装滑轨 |
| 220-1P |
220V交流单相输入 |
APT |
可调功率脱扣 |
NSS |
快速启动 |
X# |
按要求订制 |
| AOL |
可调过载脱扣 |
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SR6
选择表 |
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| 最大额定 |
型号 |
最大额定 |
型号 |
最大额定 |
型号 |
| kV
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mA |
kV |
mA |
kV |
mA |
| 1 |
6000 |
SR1PN6 |
12 |
500 |
SR12*6 |
60 |
100 |
SR60*6 |
| 2 |
3000 |
SR2PN6 |
15 |
400 |
SR15*6 |
70 |
85 |
SR70*6 |
| 3 |
2000 |
SR3PN6 |
20 |
300 |
SR20*6 |
80 |
75 |
SR80*6 |
| 6 |
1000 |
SR6PN6 |
30 |
200 |
SR30*6 |
100 |
60 |
SR100*6 |
| 8 |
750 |
SR8*6 |
40 |
150 |
SR40*6 |
110 |
55 |
SR110*6 |
| 10 |
600 |
SR10*6 |
50 |
120 |
SR50*6 |
120 |
50 |
SR120*6 |
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注:设定"P"为正极性,"N"为负极性,"PN"为正负极性反转。更高电压或中压型号可供。1kV～6kV,改变后面板连接，可获得反转极性。8kV～120kV,调换内部高压组件，获得不同极性。 |
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规格说明 |
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| 输入电压 |
208Vac±10%，50或60Hz，3相 |
| 输出电压 |
1kV～120kV分15个型号，每个型号可选正极性输出，负极性输出及正负极性可反转输出 |
| 输出控制 |
通过10圈可锁定计数电位器实现全程电压及电流可调 |
| 电压变动率 |
负载：全负载扰动情况下，最大电压的0.005%
线路：规定输入电压范围内，最大电压的±0.005% |
| 电流变动率 |
负载：任何电压变化情况下，最大电流的0.05%±100μA
线路：规定输入范围内，最大电流的±0.05% |
| 纹波 |
3相：0.1%峰-峰，单相：0.1%rms |
| 温度系数 |
100ppm/℃， 特殊订单要求高稳定性（50ppm/℃）可订制 |
| 稳定性 |
0.01%/小时，半小时预热后，0.02%/8小时（标准） |
| 计量 |
1%精度的数字式电压和电流表 |
| 系统状态显示 |
固定型前面板显示，提供多达14个系统的运行状态，包括电压，电流变动，故障条件，电路控制 |
| 输出电缆 |
3.05米屏蔽高压电缆，位于后面板，可拆卸 |
| CE认证 |
仅对单相输入型:符合欧洲EMC 89/336/EEC 和LV
73/23/EEC标准 |
| 外形尺寸 |
支架安装 1kV～70kV:26.7 x 48.3
x 48.3cm
支架安装 80kV～120kV:26.7 x 48.3 x 61.0cm |
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SR6 18针端子块 |
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| TB1 |
信号 |
TB1 |
信号 |
TB1 |
信号 |
| 1 |
共地 |
7 |
+10.3V |
13 |
远程电源开 |
| 2 |
抑制 |
8 |
mA 设定输入 |
14 |
远程高压关 |
| 3 |
外部互锁 |
9 |
本机mA设定输出 |
15 |
远程高压关 |
| 4 |
外部互锁 |
10 |
kV 设定输入 |
16 |
远程高压开 |
| 5 |
mA 测试点输出 |
11 |
本机kV设定输出 |
17 |
高压关 |
| 6 |
kV 测试点输出 |
12 |
远程电源开 |
18 |
高压开 |
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